型號(hào)
|
OLS5100-SAF
|
OLS5100-SMF
|
OLS5100-LAF
|
OLS5100-EAF
|
總倍率
|
54x–17,280x
|
視場(chǎng)
|
16 μm–5,120 μm
|
測(cè)量原理
|
光學(xué)系統(tǒng)
|
反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡
顏色
彩色DIC
|
光接收元件
|
激光：光電倍增管（2通道）
彩色：CMOS彩色相機(jī)
|
高度測(cè)量
|
顯示分辨率
|
0.5 nm
|
動(dòng)態(tài)范圍
|
16位
|
重復(fù)性σn -1*1 *2 *5
|
5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm
|
準(zhǔn)確度*1 *3 *5
|
0.15 + L / 100μm（L：測(cè)量長度[μm]）
|
拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5
|
10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm])
|
測(cè)量噪聲（Sq噪聲）*1 *4 *5
|
1 nm（典型值）
|
寬度測(cè)量
|
顯示分辨率
|
1 nm
|
重復(fù)性3σn-1 *1 *2 *5
|
5X: 0.45 μm, 10X: 0.1 μm, 20X: 0.03 μm, 50X: 0.012 μm, 100X: 0.012 μm
|
準(zhǔn)確度*1 *3 *5
|
測(cè)量值+/- 1.5%
|
拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5
|
10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接長度[mm]）
|
單次測(cè)量時(shí)*大測(cè)量點(diǎn)數(shù)量
|
4096 × 4096像素
|
*大測(cè)量點(diǎn)數(shù)量
|
3600萬像素
|
XY載物臺(tái)配置
|
長度測(cè)量模塊
|
?
|
不適用
|
不適用
|
?
|
工作范圍
|
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)
|
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動(dòng)
|
300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動(dòng)
|
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)
|
激光光源
|
波長
|
405 nm
|
*大輸出
|
0.95 mW
|
激光等級(jí)
|
2級(jí)（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014）
|
彩色光源
|
白光LED
|
電氣功率
|
240 W
|
240 W
|
278 W
|
240 W
|
質(zhì)量
|
顯微鏡主體
|
約 31 kg
|
約 32 kg
|
約 50 kg
|
約 43 kg
|
控制箱
|
約 12 kg
|